強誘電体薄膜形成用塗布液、その製造方法および強誘電体薄膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-187835
公開番号（公開出願番号）：特開2002-193616
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】汎用の有機溶媒に可溶な有効成分を含み、保存安定性や再現性に優れ、しかも低温での焼成によっても薄膜形成が可能な強誘電体形成用塗布液、その製造方法およびこれを用いる強誘電体薄膜を提供する。【解決手段】本発明に係る強誘電体薄膜形成用塗布液は、金属アルコキシド(a)を加水分解および縮合して得られる加水分解縮合物の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる第1有機金属化合物(A)と、上記金属アルコキシド(a)と異なる金属の金属アルコキシド(b)、該金属アルコキシド(b)を加水分解および縮合して得られる加水分解縮合物(c)、前記金属アルコキシド(b)の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる化合物(d)および前記加水分解縮合物(c)の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる化合物(e)から選ばれる少なくとも1種からなる第2有機金属化合物(B)とを含むことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

金属アルコキシド(a)を加水分解および縮合して得られる加水分解縮合物の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる第1有機金属化合物(A)と、上記金属アルコキシド(a)と異なる金属の金属アルコキシド(b)、該金属アルコキシド(b)を加水分解および縮合して得られる加水分解縮合物(c)、前記金属アルコキシド(b)の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる化合物(d)および前記加水分解縮合物(c)の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる化合物(e)から選ばれる少なくとも1種の化合物からなる第2有機金属化合物(B)とを含むことを特徴とする強誘電体薄膜形成用塗布液。

IPC (9件)：

C01G 1/02 , C01G 35/00 , H01B 3/12 318 , H01L 21/316 , H01L 21/8247 , H01L 29/788 , H01L 29/792 , C01B 13/18 , H01L 27/105

FI (8件)：

C01G 1/02 , C01G 35/00 B , C01G 35/00 C , H01B 3/12 318 G , H01L 21/316 G , C01B 13/18 , H01L 29/78 371 , H01L 27/10 444 C

Fターム (59件)：

4G042DA01 , 4G042DB11 , 4G042DC03 , 4G042DD02 , 4G042DE09 , 4G042DE14 , 4G048AA05 , 4G048AB02 , 4G048AB05 , 4G048AC02 , 4G048AD02 , 4G048AE08 , 5F058BA11 , 5F058BC03 , 5F058BF46 , 5F058BJ02 , 5F083AD11 , 5F083FR00 , 5F083FR01 , 5F083FR05 , 5F083FR06 , 5F083FR07 , 5F083JA17 , 5F083JA38 , 5F083PR16 , 5F083PR23 , 5F101BA62 , 5G303AA10 , 5G303AB15 , 5G303AB20 , 5G303BA03 , 5G303BA12 , 5G303CA01 , 5G303CB03 , 5G303CB06 , 5G303CB09 , 5G303CB10 , 5G303CB11 , 5G303CB13 , 5G303CB14 , 5G303CB15 , 5G303CB16 , 5G303CB17 , 5G303CB18 , 5G303CB20 , 5G303CB21 , 5G303CB23 , 5G303CB25 , 5G303CB32 , 5G303CB33 , 5G303CB35 , 5G303CB36 , 5G303CB37 , 5G303CB38 , 5G303CB39 , 5G303CB40 , 5G303CB43 , 5G303CD04 , 5G303DA02

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