特許
J-GLOBAL ID：200903098635335683
X線顕微CT装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264313
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075371
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：
【要約】【課題】工業分野における微小構造体の詳細観察や、基礎研究分野における顕微鏡観察に利用することのできる、分解能の高い、顕微鏡に準じたX線CT装置を提供する。【解決手段】観察対象物を回転させる回転テーブル2上に、観察対象物Mを回転テーブル2の回転半径5mmの回転範囲内に収めた状態で支持する円筒体21を設け、X線源としてマイクロフォーカスX線源3を用いると共に該マイクロフォーカスX線源3を円筒体21に隣接して配置し、X線検出器4はマイクロフォーカスX線源3の実焦点位置とX線検出器4の検出面との距離が回転手段の回転中心とマイクロフォーカスX線源3の実焦点位置との距離の100倍以上となるように配置し、該X線検出器4の水平方向1mm当りの検出素子を40個以上で構成する。
請求項（抜粋）：
観察対象物を回転させる回転手段と、該回転手段を挟んで対向して配置されたX線源及びイメージインテンシファイヤーを用いたX線検出器とを備え、上記回転手段によって観察対象物を回転させると共に、該観察対象物に対して上記X線源からX線を照射し、該照射したX線のうち観察対象物を透過した透過X線を上記X線検出器で検出し、該検出した検出データに基づいて観察対象物の断層像を得るX線顕微CT装置であって、上記回転手段は、観察対象物を該回転手段の所定の回転半径の回転範囲内に収めた状態で支持するように構成され、上記X線源としてマイクロフォーカスX線源を用いると共に該マイクロフォーカスX線源を上記回転手段の所定の回転半径の回転範囲に隣接して配置し、上記X線検出器はマイクロフォーカスX線源の実焦点位置とX線検出器の検出面との距離が回転手段の回転中心とマイクロフォーカスX線源の実焦点位置との距離の100倍以上となるように配置し、該X線検出器の水平方向1mm当りの検出素子を40個以上で構成したことを特徴とするX線顕微CT装置。
Fターム (15件)：
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA09
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001HA08
, 2G001HA12
, 2G001HA13
, 2G001HA14
, 2G001JA13
, 2G001KA03
, 2G001PA12
, 2G001PA14
