特許
J-GLOBAL ID：200903098636875860
インクジェットヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-248076
公開番号（公開出願番号）：特開平10-086361
出願日： 1996年09月19日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：
【要約】【課題】特性低下の無いインクジェットヘッドを提供すること。【解決手段】インクジェットヘッドに関し、絶縁体基板2表面に第1のキャビティ9を形成し、該第1のキャビティ内を含む前記絶縁体基板2表面に第1の導電体から成る第1の電極21を形成し、該第1の電極21および前記第1のキャビティ9を含む前記絶縁体基板2表面に、第2の電極およびインクの通路とも成る第2のキャビティ部6を含む振動板5を形成し、該振動板5の前記第1のキャビティ側には高抵抗半導体膜107を形成する。
請求項（抜粋）：
絶縁体基板表面には第1のキャビティが形成されて成り、該第1のキャビティ内を含む前記絶縁体基板表面には第1の導電体から成る第1の電極が形成されて成り、該第1の電極および前記第1のキャビティを含む前記絶縁体基板表面には、第2の電極およびインクの流路とも成る第2のキャビティ部を含む振動板が形成されて成り、該振動板の前記第1のキャビティ側には高抵抗半導体膜が形成されて成ることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
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