特許

J-GLOBAL ID：200903098638573704

電極基板およびその作製方法、ならびに、電極基板を備える液晶表示装置

発明者： 小倉 雅史 ,  藤川 隆 ,  片岡 義晴
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-403387
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345023
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】 有機絶縁膜上に形成された透明導電膜と無機絶縁膜上に形成される透明導電膜を同時に精度良くエッチングする。【解決手段】 本発明の電極基板の作製方法は、基板上の所定の領域に無機絶縁膜144を形成する工程と、基板上の別の領域に有機絶縁膜49を形成する工程と、有機絶縁膜49にプラズマ処理を行う工程と、有機絶縁膜49上および無機絶縁膜144上に透明導電膜155を形成する工程と、有機絶縁膜49上及び無機絶縁膜144上の透明導電膜155を同時にエッチングする工程と、を包含する。

請求項（抜粋）：

電極基板の作製方法であって、同一面側に有機絶縁膜からなる有機絶縁膜領域と無機絶縁膜からなる無機絶縁膜領域とを有する該電極基板において、該有機絶縁膜領域にプラズマ処理を行う工程と、該有機絶縁膜領域および該無機絶縁膜領域に接して透明導電膜を形成する工程と、該有機絶縁膜領域および該無機絶縁膜領域に接する該透明導電膜を同時にエッチングする工程と、を包含する電極基板の作製方法。

IPC (7件)：

H01B 13/00 503 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 310 ,  H01B 5/14 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/318

FI (7件)：

H01B 13/00 503 D ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 310 ,  H01B 5/14 A ,  H01L 21/312 Z ,  H01L 21/318 C

Fターム (48件)：

2H090HA04 ,  2H090HB02X ,  2H090HB07X ,  2H090HC12 ,  2H090HC16 ,  2H090HD03 ,  2H090HD05 ,  2H092HA04 ,  2H092MA01 ,  2H092MA04 ,  2H092MA17 ,  2H092MA18 ,  2H092MA22 ,  2H092MA23 ,  2H092MA26 ,  2H092MA35 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EB01 ,  5C094GB10 ,  5C094HA08 ,  5F058AA10 ,  5F058AB06 ,  5F058AB07 ,  5F058AC01 ,  5F058AC07 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AG07 ,  5F058BB06 ,  5F058BB07 ,  5F058BC02 ,  5F058BC03 ,  5F058BC08 ,  5F058BF46 ,  5F058BF47 ,  5F058BH16 ,  5F058BJ01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC03 ,  5G323CA01