特許

J-GLOBAL ID：200903098648089177

感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  水谷 一良
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-012665
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011838
出願日： 1991年01月11日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【構成】 (a)下式のポリシロキサン化合物、(b)酸により分解し得る基を有する化合物、及び(c)光照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型感光性組成物。【効果】 水性アルカリ現像が可能で、高感度であり、経時安定性、酸素プラズマ耐性に優れている。【化1】

請求項（抜粋）：

(a)一般式(I)、(II)、(III)または(IV)で表される化合物と、一般式(V)、(VI)、(VII) または(VIII)で表される化合物との環化熱付加反応生成物から由来されるシロキサン単位を少なくとも1モル%含有するポリシロキサン化合物と、(b)酸により分解し得る基を少なくとも1個有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する化合物、及び(c)活性光線、又は放射線の照射により酸を発生する化合物、を含有する感光性組成物。【化1】【化2】【化3】

IPC (4件)：

G03F 7/075 511 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-044645
  
• 特開昭51-141973
  
• 特開昭63-019408