光ビーム形状計測装置及びアライメント測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-036214
公開番号（公開出願番号）：特開2000-234916
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は、叙上の事情に鑑みなされたものであり、第一の課題は、各種光量の光ビームに対応するために光量減衰フィルターを光路上に出し入れしても、撮像倍率が微小変化することがなく、高精度の計測が可能な光ビーム形状計測装置を提供すること。【解決手段】光ビームを拡大光学系で拡大し、その拡大像を撮像素子で撮像し、その撮像画像を処理して光ビームの形状及び径を計測する光ビーム形状計測装置において、上記拡大光学系2を対物レンズ21及び結像レンズ22を有する無限遠補正光学系で構成し、その対物レンズ21と結像レンズ22との間に光量調整用の光量減衰フィルター6を配置することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光ビームを拡大光学系で拡大し、その拡大像を撮像素子で撮像し、その撮像画像を処理して光ビームの形状及び径を計測する光ビーム形状計測装置において、上記拡大光学系を対物レンズ及び結像レンズを有する無限遠補正光学系で構成し、その対物レンズと結像レンズとの間に光量調整用の光量減衰フィルターを配置することを特徴とする光ビーム形状計測装置。

IPC (6件)：

G01B 11/24 , G01B 11/08 , G01J 1/02 , G01J 1/04 , G01J 1/22 , H01S 3/00

FI (6件)：

G01B 11/24 K , G01B 11/08 H , G01J 1/02 L , G01J 1/04 A , G01J 1/22 , H01S 3/00 G

Fターム (53件)：

2F065AA26 , 2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC21 , 2F065DD03 , 2F065FF01 , 2F065FF42 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL24 , 2F065NN03 , 2F065PP04 , 2F065QQ05 , 2F065QQ16 , 2F065QQ21 , 2F065QQ32 , 2F065QQ44 , 2G065AA04 , 2G065AA11 , 2G065AB09 , 2G065AB28 , 2G065BA04 , 2G065BA37 , 2G065BB02 , 2G065BB06 , 2G065BB21 , 2G065BB23 , 2G065BB24 , 2G065BB44 , 2G065BB46 , 2G065BB49 , 2G065BC10 , 2G065BC11 , 2G065BC35 , 2G065CA01 , 2G065CA07 , 2G065CA09 , 5F072AB13 , 5F072HH02 , 5F072HH03 , 5F072JJ05 , 5F072JJ20 , 5F072KK30 , 5F072MM01 , 5F072MM03 , 5F072MM08 , 5F072YY11

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