特許

J-GLOBAL ID：200903098651793500

固体撮像装置

発明者： 日下 卓久 ,  神戸 秀夫 ,  泉 明男 ,  阿部 秀司 ,  大橋 正典 ,  浅井 淳
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (2件)： 角田 芳末 ,  磯山 弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-165453
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047985
出願日： 2003年06月10日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】撮像画面の一つの欠陥である白きずを低減させると共に、PN接合を構成するN型の不純物拡散領域の縮小化延いては固体撮像装置自体の小型化を図れるようにする。【解決手段】P型基板あるいはP型の不純物拡散領域内2に、画素に対応してN型の不純物拡散領域3からなる受光部(光電変換部)8が形成された固体撮像装置Aにおいて、N型の不純物拡散領域3を砒素(As)単体の不純物拡散により形成し、N型の不純物拡散領域3上にP型の正電荷蓄積領域6を形成し、P型の正電荷蓄積領域6をイオン注入したのち、熱処理を行うことにより形成した構成とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

P型基板あるいはP型の不純物拡散領域内に、画素に対応してN型の不純物拡散領域からなる受光部が形成された固体撮像装置において、 上記N型の不純物拡散領域が砒素単体の不純物拡散により形成されてなり、 上記N型の不純物拡散領域上にP型の正電荷蓄積領域が形成されてなり、 上記P型の正電荷蓄積領域がイオン注入したのち、熱処理を行うことにより形成されてなる ことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4件)：

H01L27/148 ,  H01L27/146 ,  H01L31/10 ,  H04N5/335

FI (5件)：

H01L27/14 B ,  H04N5/335 F ,  H04N5/335 U ,  H01L27/14 A ,  H01L31/10 A

Fターム (31件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118BA13 ,  4M118CA03 ,  4M118CA04 ,  4M118CA32 ,  4M118DA03 ,  4M118EA01 ,  4M118EA07 ,  4M118EA14 ,  4M118EA17 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA35 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  5C024CX03 ,  5C024GX02 ,  5C024GY01 ,  5F049MA02 ,  5F049MB03 ,  5F049MB11 ,  5F049NA19 ,  5F049NA20 ,  5F049NB05 ,  5F049PA10 ,  5F049PA11 ,  5F049PA18 ,  5F049SZ20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-068960
  
• 特開平3-018059
  
• 特開平3-018058
  
• 特開平2-260542