高アスペクト比微細造形物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067987
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268730
出願日： 1999年03月15日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】プラズマディスプレーのバリアリブ形成、感光性導電ペーストのパターニング等に有用な高アスペクト比微細造形物を提供する。【解決手段】高アスペクト比微細造形物において、該造形物がエネルギー線で感光性樹脂を硬化させた薄層の積層からなることを特徴とする高アスペクト比微細造形物。

請求項（抜粋）：

高アスペクト比微細造形物において、該造形物がエネルギー線で感光性樹脂を硬化させた薄層の積層からなることを特徴とする高アスペクト比微細造形物。

IPC (6件)：

H01J 11/02 , C08F 2/44 , C08F 2/48 , G03F 7/004 501 , G03F 7/038 , H01J 9/02

FI (6件)：

H01J 11/02 B , C08F 2/44 A , C08F 2/48 , G03F 7/004 501 , G03F 7/038 , H01J 9/02 F

Fターム (54件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB14 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BA06 , 2H025BC13 , 2H025BC31 , 2H025CB41 , 2H025CC08 , 2H025CC20 , 2H025DA11 , 2H025FA10 , 4J011PA15 , 4J011PA43 , 4J011PA63 , 4J011PB06 , 4J011PB22 , 4J011PB30 , 4J011PC02 , 4J011QA01 , 4J011QA08 , 4J011QA09 , 4J011QA11 , 4J011QA13 , 4J011QA24 , 4J011QA39 , 4J011QB01 , 4J011QB11 , 4J011QB12 , 4J011QB19 , 4J011QB22 , 4J011QB24 , 4J011QC05 , 4J011QC06 , 4J011SA80 , 4J011UA01 , 5C027AA09 , 5C040GC18 , 5C040GC19 , 5C040GF02 , 5C040GF12 , 5C040GF13 , 5C040GF18 , 5C040GF19 , 5C040JA15 , 5C040KA09 , 5C040KA16 , 5C040KB03 , 5C040KB17 , 5C040KB19 , 5C040MA24

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