特許

J-GLOBAL ID：200903098677131620

光重合性混合物およびこれから調製した記録材料

発明者： ハンス-ディーター、フロメルト
出願人/特許権者： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-268909
公開番号（公開出願番号）：特開平6-095381
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】重合体結合剤、重合性化合物、トリクロロメチル-s-トリアジンおよび一般式II(式中、R3 およびR4 は、水素またはハロゲン原子、アルキル、アルコキシ、アルコキシカルボニルまたはアリール基を表わす、または一緒に縮合ベンゼン環を表わし、R5 およびR6 は、アルキル、アリールまたはアラルキル基を表わす、または一緒に5または6員環の複素環を表わす。)の化合物からなる光重合性混合物。【効果】転写可能なドライフォトレジスト層の製造に好適であり、フォトスピードが高く、画像コントラストが良い。

請求項（抜粋）：

必須成分として、a)重合体結合剤、b)少なくとも一つの末端エチレン性二重結合を有し、常圧における沸点が100°Cを超える、フリーラジカル反応により重合し得る化合物、およびc)一般式I【化1】(式中、R1 およびR2 は、同一または異なっており、置換されていてもよいアルキル、アルケニルまたはアリール基、あるいはトリクロロメチル基を表わす。)のトリクロロメチル化合物を含む光重合性混合物であって、前記混合物が、さらに他の光反応開始剤として、一般式II【化2】(式中、R3 およびR4 は、同一または異なっており、個別に水素またはハロゲン原子またはアルキル、アルコキシ、アルコキシカルボニルまたはアリール基を表わす、または一緒に縮合ベンゼン環を表わし、R5 およびR6 は、同一のまたは異なったアルキル、アリールまたはアラルキル基を表わす、または一緒に5または6員環の複素環を表わす。)の化合物を含むことを特徴とする光重合性混合物。

IPC (7件)：

G03F 7/028 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/027