特許

J-GLOBAL ID：200903098686325178

半導体及びその半導体の良品/不良品識別装置

発明者： 杉村 幸夫
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327992
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141789
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 ウェハー上のチップを1個ずつテストし、良品/不良品の識別が出来るようにマークをつけていくか、良品/不良品の情報を記憶していく従来の方式では、ウェハー上のチップ数が増えるに従ってテスト時間が増える。【解決手段】 チップ内部で自分自身のテストを行ない、テスト結果に従ってチップの一部または全体の温度を変化させる事により、テスト結果を温度の変化としてチップ外部から知る事が出来るようにする。このチップの温度変化をとらえることにより、良品/不良品の識別を行なう。

請求項（抜粋）：

チップ内部で自分自身のテストを行い、テスト結果に基づいて、良品または不良品のチップがチップの一部または全体の温度を変化させる事により、テスト結果をテスト前後の温度変化または良品/不良品間の温度差として、チップ外部から知る事が出来る事を特徴とする、半導体。

IPC (5件)：

G01R 31/28 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (5件)：

G01R 31/26 H ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/66 F ,  G01R 31/28 V ,  H01L 27/04 T

Fターム (47件)：

2G003AA07 ,  2G003AA10 ,  2G003AB16 ,  2G003AD06 ,  2G003AE06 ,  2G003AF02 ,  2G003AF06 ,  2G003AF08 ,  2G003AG03 ,  2G003AH01 ,  2G003AH03 ,  2G003AH04 ,  2G032AB02 ,  2G032AB13 ,  2G032AC02 ,  2G032AD10 ,  2G032AE08 ,  2G032AE10 ,  2G032AE12 ,  2G032AF01 ,  2G032AG07 ,  2G032AH07 ,  2G032AK14 ,  2G032AK19 ,  4M106AA02 ,  4M106BA08 ,  4M106CA70 ,  4M106DH02 ,  4M106DH14 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  5F038BE07 ,  5F038CA10 ,  5F038CA15 ,  5F038DF04 ,  5F038DF05 ,  5F038DF14 ,  5F038DT02 ,  5F038DT04 ,  5F038DT08 ,  5F038DT10 ,  5F038EZ20 ,  9A001BB05 ,  9A001JJ49 ,  9A001KK54 ,  9A001LL05