特許
J-GLOBAL ID：200903098686397306
ウエハ固定用チャック
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-330162
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166711
出願日： 1991年12月13日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】他のチャックのウエハ固定部上の異物が、該ウエハ固定部で固定されていたウエハ側に付着していても、その付着異物に影響なくウエハをチャックできるようにする。【構成】レジスト塗布装置用真空チャック36の放射状ウエハ固定部40と、露光装置用真空チャック42のウエハ固定部44とは、互いにウエハ下面に対し共通の固定接触部分を持たないようにする。
請求項（抜粋）：
他のウエハ固定用チャックのウエハ固定部とはウエハの固定接触部分が重ならない関係となるようにウエハ固定部が配置されていることを特徴とするウエハ固定用チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 361 C
, H01L 21/30 301 Z
