残留金属融液溶媒除去装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-219243
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069173
出願日： 1992年08月18日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】残留金属融液溶媒の除去において、ウエハを一旦回転台にセットすれば外周研削から乾燥までの一連の工程をウエハを外すことなく連続して行い、しかも、研削の砥石の寿命の低下を防ぎ、ウエハそのものの欠け、割れなどの不良を防止する除去装置を提供する。【構成】液相エビタキシャルウエハ成長後のウエハ1をウエハチヤックテーブル3に載置し回転させると共に砥石6を回転させ、ウエハ1の外周を研削する。このとき研削水として溶媒2を溶解させる約50°C以上の温水7をシャワー状に供給する。外周研削後、砥石6を停止させウエハ1より離脱するとともに、ウエハ1の回転数を上げ、ウエハ1表面にストレート状の温水7a吹き付けて表面に付着していた溶媒2を遠心力で吹き飛ばす。さらに、一定時間運転後、温水7aの供給を停止し、ウエハ1を回転させて表面に付着した水滴8を遠心力で吹き飛ばす。

請求項（抜粋）：

液相エピタキシャルウエハ成長後のウエハに残留した金属融液溶媒を除去するウエハ載置回転台と回転研削手段とからなる残留金属融液溶媒除去装置において、前記ウエハ載置回転台の回転数を変える変速手段を設け、前記金属融液溶媒を溶解する溶解液を供給する液供給手段を前記回転台の上部に設けるとともに、液供給手段に液噴出調整手段を設けたことを特徴とする残留金属融液溶媒除去装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 321 , B24B 9/00 , H01L 21/208

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭63-093565
特開昭63-016962

審査官引用 (3件)

特開昭63-093565
特開昭63-093565
特開昭63-093565

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