特許

J-GLOBAL ID：200903098694997657

固体撮像素子およびその製造方法

発明者： 小川 和明
出願人/特許権者： 富士フイルムマイクロデバイス株式会社 ,  富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-025519
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229550
出願日： 2002年02月01日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】 マイクロレンズアレイを備えた固体撮像素子では、個々のマイクロレンズの平面視上の大きさを大きくして集光効率の向上を図ろうとしても、各マイクロレンズが非球面レンズとなることから、集光効率の向上が小さい。【解決手段】 多数個の光電変換素子の中から市松状に選択した各光電変換素子に1つずつ対応させて、平面形状が円形または近似円である第1マイクロレンズを互いに離隔させて形成した後、これらの第1マイクロレンズが対応していない光電変換素子に1つずつ対応させて、各々が近傍の各第1マイクロレンズと部分的に重なるマイクロレンズ用パターンを形成し、該マイクロレンズ用パターンの各々をリフローさせた後に冷却して複数の第2マイクロレンズを形成することによって、マイクロレンズアレイを作製する。

請求項（抜粋）：

半導体基板と、前記半導体基板の一表面に複数行、複数列に亘って行列状に配置された多数個の光電変換素子と、前記光電変換素子の各々に蓄積された電荷に基づいて出力信号を生成することができる出力信号生成部と、前記光電変換素子の1個に1個ずつ対応して前記多数個の光電変換素子の上方に行列状に配置され、行方向から斜行する方向に隣り合うもの同士の間に空隙を形成しつつ、行方向に隣り合うもの同士で平面視上線接触すると共に列方向に隣り合うもの同士で平面視上線接触し、前記線接触する箇所中央部での厚さが前記空隙に面した箇所での厚さよりも厚い多数個のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイとを有する固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 31/0232 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/02 D

Fターム (28件)：

4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118FA07 ,  4M118GC07 ,  4M118GD02 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AX01 ,  5C024CY33 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31 ,  5F088AA02 ,  5F088AB03 ,  5F088BA18 ,  5F088BB03 ,  5F088CB18 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088HA05 ,  5F088JA12 ,  5F088JA13 ,  5F088KA03