半導体ウェハの製造方法および工程管理システム

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-145237
公開番号（公開出願番号）：特開平9-326337
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】特急進行の試作ロットを量産ラインで生産する場合、現在の工程よりも先の工程で工程遅延要因が発生した時に無駄な特急進行をやめ量産品の生産量低下を防止する。【解決手段】データベース1-fおよび処理・判断シーケンス1-gを持つ進度管理用のホストコンピュータ1と、ネットワーク3を介してホストコンピュータ1に接続され、表示部2-aおよび入力部2-b等を備えた各工程の端末2で構成され、オペレータが端末2を介して各工程からホストコンピュータ1に問い合わせを行い、ホストコンピュータ1は、試作品の特急進行の日程に変化が発生した場合、無駄な製造装置の段取り替えの発生を抑止して量産品のスループット低下を最小限に止めつつ、試作品の特急進行を実現できるように、量産品および試作品の着工指示等の作業指示、製造条件指示を端末2の表示部2-aに出力する。

請求項（抜粋）：

各々が少なくとも一つの製造装置を含む複数の製造工程において製品ロット単位あるいは単独の半導体ウェハに所望の加工を施す半導体ウェハの製造方法であって、同一の処理条件で加工が可能な量産品の前記半導体ウェハと、前記量産品より進行上の優先度の高い試作品の半導体ウェハを混在させて複数の前記製造工程に流す時、前記製造装置別、前記製品ロット別の生産実績データと、あらかじめ設定されている前記試作品の進行予定表データとに基づいて前記製造装置別の着工順序スケジュールを作成し、前記試作品の前記進行予定表データに対して任意の工程遅延要因により現時点より先の前記着工順序スケジュールが遅れることが予測される場合に、その時点で前記工程遅延要因が解消する見込みの日程の分だけ前記着工順序スケジュールを緩やかにし、前記製造装置の段取り替え回数を減らすように前記製造装置別の前記着工順序スケジュールと前記試作品の進行予定表データを更新し、前記進行予定表データに基づく前記着工順序スケジュール通りに着工するように各々の前記製造工程に着工順序を指示することを特徴とする半導体ウェハの製造方法。

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