特許
J-GLOBAL ID：200903098697147611
シート切断装置及び切断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-115106
公開番号（公開出願番号）：特開2007-288010
出願日： 2006年04月19日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】ウエハ等の板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した状態で、板状部材の大きさに合わせてシートを切断すること。【解決手段】半導体ウエハWの外周からはみ出る大きさのシートSを半導体ウエハWに貼付した後、当該半導体ウエハWの外周に沿ってカッター刃12で切断するシート切断装置10である。この切断装置10は、半導体ウエハWの外周形状を撮像する撮像カメラ30を含み、その撮像データに基づいてカッター刃12の移動軌跡を決定し、ロボット11を介してカッター刃12を前記移動軌跡に沿って移動させることでシートSが切断される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを前記板状部材に貼付した後に、カッター刃を介して前記シートを板状部材の外周に沿って切断するシート切断装置において、
前記板状部材の外周形状を撮像する撮像手段を含み、
前記撮像手段の撮像データに基づく移動軌跡に従って前記カッター刃を所定動作可能に設けて前記シートを切断することを特徴とするシート切断装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA78
, 5F031MA37
, 5F031PA30
