特許

J-GLOBAL ID：200903098703089726

半導体露光装置

発明者： 滝沢 厚嗣
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 寒川 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-160480
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005691
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ウェーハまたはマスクの露光装置、特に、ウェーハまたはマスクをセットするアライメントステージに関し、露光時のデフォーカスが発生しないようにし、また、ダストによる局部的デフォーカスが発生しないようにするアライメントステージを有する半導体露光装置を提供することを目的とする。【構成】 搬送用レール4と、搬送用レール4に沿ってx,y方向に移動し、先端に被露光物12を吸着する回転可能な吸着部6を有する搬送アーム5と、搬送アーム5によって搬送された被露光物12を吸着する真空チャック8を有するステージ7と、ステージ7の裏面から表面に向けてレーザ光を照射する少なくとも三つのレーザ照射手段9と、レーザ照射手段9に対応して設けられたレーザ検出手段10とからなるアライメントステージを有する半導体露光装置である。

請求項（抜粋）：

搬送用レール(4)と、該搬送用レール(4)に沿ってx,y方向に移動し、先端に被露光物(12)を吸着する回転可能な吸着部(6)を有する搬送アーム(5)と、該搬送アーム(5)によって搬送された前記被露光物(12)を吸着する真空チャック(8)を有するステージ(7)と、該ステージ(7)の裏面から表面に向けて光を照射する少なくとも三つの発光手段(9)と、該発光手段(9)に対応して設けられた光検出手段(10)と、前記搬送アーム(5)によって搬送された前記被露光物(12)を前記ステージ(7)上に受け渡す受け渡しピン(11)とからなるアライメントステージを有することを特徴とする半導体露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027