特許
J-GLOBAL ID：200903098704345050
ノズル形成部材及びインクジェットヘッド並びにその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-010444
公開番号（公開出願番号）：特開2000-203033
出願日： 1999年01月19日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：
【要約】【課題】 液滴吐出特性にばらつきが生じる。【解決手段】 ノズル孔31aを形成するノズル形成部材がシリコン基板31からなり、このシリコン基板31の吐出面側にメッキ法により撥水膜33を形成した。
請求項（抜粋）：
ノズル孔を形成したノズル孔形成部材の表面に表面処理層を形成したノズル形成部材において、前記ノズル孔形成部材が半導体基板からなり、この半導体基板の表面にメッキ法により撥水層が形成されていることを特徴とするノズル形成部材。
IPC (3件)：
B41J 2/135
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 N
, B41J 3/04 103 A
2C057AF24
, 2C057AF65
, 2C057AF70
, 2C057AF93
, 2C057AG07
, 2C057AG15
, 2C057AG54
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP13
, 2C057AP55
, 2C057AP60
, 2C057BA04
, 2C057BA15
