特許

J-GLOBAL ID：200903098706952018

真空引き経路内の水分除去方法

発明者： 村田 長俊
出願人/特許権者： 本田技研工業株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 辰彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271474
公開番号（公開出願番号）：特開平5-112395
出願日： 1991年10月18日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】所定のサイクル毎に真空引き経路を介して容器内の真空引きを行う装置において、真空引き経路内の水分を効率よく除去することができ、真空引き効率を向上させるとができる方法を提供する。【構成】所定のサイクル毎に真空引き経路10を介して容器aの真空引きを行う装置において、真空引きの1サイクル毎に、大気湿度及び大気温度を検出し、検出した大気湿度及び大気温度を基に、あらかじめ求めたデータテーブルから1サイクル毎の真空引き経路10内の含水量を求めて積算する。含水量の積算値が所定値に達した時にドレン経路23を介して真空引き経路10内の水分等を排出する。

請求項（抜粋）：

所定のサイクル毎に容器に接続される真空引き経路を介して該容器内の真空引きを所定の真空度まで行う装置において、前記真空引き経路内の水分を除去する方法であって、あらかじめ前記サイクル毎の前記真空引き経路内の含水量を大気湿度及び大気温度に応じたデータテーブルとして求めておく工程と、前記サイクル毎に、大気湿度及び大気温度を検出する工程と、検出した大気湿度及び大気温度を基に前記データテーブルから前記サイクル毎の真空引き経路内の含水量を求めて積算する工程と、該含水量の積算値があらかじめ設定された所定値に達した時に前記真空引き経路に接続されたドレン経路を介して該真空引き経路内の水分を排出する工程とを備えたことを特徴とする真空引き経路内の水分除去方法。