特許

J-GLOBAL ID：200903098708306628

石英ルツボの製造装置及び方法

発明者： 佐藤 龍弘 ,  松村 光男 ,  水野 繁夫 ,  渡辺 博行
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-179536
公開番号（公開出願番号）：特開平10-025184
出願日： 1996年07月09日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】 石英ルツボの壁体の内部気泡を効率よく除去することを可能とした石英るつぼの製造装置及び方法を提供する。【解決手段】 水平回転自在な中空型と、該中空型の外周を減圧吸引する減圧吸引手段と、該中空型内を加熱する加熱手段とを具備した石英ルツボの製造装置であって、該中空型の内面に臨むように設けられた通気性部材と、一端が該通気性部材に接続し他端が該中空型の外周面と連通するように該中空型の壁体内部に穿設された吸引通路とを有する。

請求項（抜粋）：

水平回転自在な中空型と、該中空型の外周を減圧吸引する減圧吸引手段と、該中空型内を加熱する加熱手段とを具備した石英ルツボの製造装置であって、該中空型の内面に臨むように設けられた通気性部材と、一端が該通気性部材に接続し他端が該中空型の外周面と連通するように該中空型の壁体内部に穿設された吸引通路とを有することを特徴とする石英ルツボの製造装置。

IPC (2件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平1-157426