特許
J-GLOBAL ID：200903098709821232
容量式圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮川 宏一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-149137
公開番号（公開出願番号）：特開2005-331328
出願日： 2004年05月19日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：
【課題】 全体が小型化しかつ信頼性に優れた容量式圧力センサを提供する。【解決手段】 少なくとも一部がダイアフラムからなる容量室内の対向する領域に形成されたキャパシタンス検出部であってダイアフラムの圧力に対する感度の大きい領域に形成された感圧キャパシタンス検出部101とダイアフラムの圧力に対する感度の小さい領域に形成されたリファレンスキャパシタンス検出部102とを備えた容量式圧力センサ1において、リファレンスキャパシタンス検出部102の信号出力値を独立して検出する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
少なくとも一部がダイアフラムからなる容量室内の対向する領域に形成されたキャパシタンス検出部であってダイアフラムの圧力に対する感度の大きい領域に形成された感圧キャパシタンス検出部とダイアフラムの圧力に対する感度の小さい領域に形成されたリファレンスキャパシタンス検出部とを備えた容量式圧力センサにおいて、
前記リファレンスキャパシタンス検出部の信号出力値を独立して検出することを特徴とする容量式圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2F055AA40
, 2F055BB01
, 2F055CC02
, 2F055DD09
, 2F055EE25
, 2F055FF02
, 2F055FF07
, 2F055GG11
