特許

J-GLOBAL ID：200903098714127344

ポールピース付き薄膜空洞共振器

発明者： 中西 昭男 ,  菅原 菜穂子 ,  中川 和雄 ,  常田 誠 ,  糠信 敦司
出願人/特許権者： 日機装株式会社 ,  住友特殊金属株式会社
代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-092909
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288821
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、感度、安定度が良好な空洞共振器1を提供する。【構成】 本発明の空洞共振器1は、電子スピン共鳴装置に用いられる空洞共振器1であって、膨脹係数が僅少の非導電体材料を母材とし、内部に所用のマイクロ波共振が得られる空洞3を設けこの空洞3の壁面に高導電率の金属薄膜4を付着するとともに対向する両端面を平行平面に仕上げた共振器本体2と、この共振器本体2の両端面に各々密着固定した分極磁場用のポールピース5A、5Bとを具備する。

請求項（抜粋）：

電子スピン共鳴装置に用いられる空洞共振器であって、膨脹係数が僅少の非導電体材料を母材とし、内部に所要のマイクロ波共振が得られる空洞を設け、この空洞の内壁面に高導電率の金属薄膜を形成するとともに対向する両端面を平行平面に仕上げた共振器本体と、この共振器本体の両端面に各々密着固定した分極磁場用のポールピースとを具備することを特徴とする空洞共振器。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭47-001434
  
• 特開昭53-015883