特許
J-GLOBAL ID：200903098730947823
可変容量型圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
沼形 義彰 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-098974
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288561
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 ダイヤフラムに絶縁体の薄板を使用した可変容量型圧力センサにおいて、可変電極を設けた可撓性ダイヤフラムと固定電極を設けた基板との間隔を所定の間隔に精度高く維持することができる接着構造を提供する。【解決手段】 表面に変位電極4を有する絶縁性ダイヤフラム2と、該ダイヤフラム2に設けた変位電極4に所定の間隔をもって対向して配置される固定電極5を設けた基板3とからなる可変容量型圧力センサにおいて、前記ダイヤフラムにアルミナまたはジルコニア等のセラミックもしくはシリコンまたは水晶等の絶縁体を使用し、基板3とダイヤフラム2との間に間隙形成用部材65を印刷によって設けるとともに、ダイヤフラムと基板を封止部材6によって固着封止した。
請求項（抜粋）：
表面に変位電極を有する絶縁性ダイヤフラムと、該ダイヤフラムに設けた変位電極に所定の間隔をもって対向して配置される固定電極を設けた基板とからなる可変容量型圧力センサにおいて、前記絶縁性ダイヤフラムにアルミナまたはジルコニア等のセラミックもしくはシリコンまたは水晶等の絶縁体を使用し、前記基板と前記絶縁性ダイヤフラムとの間に間隙形成用部材を印刷によって設けたことを特徴とする可変容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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