特許
J-GLOBAL ID：200903098737383720
基板の位置決め装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-135910
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306767
出願日： 1995年05月09日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 フラット付きウエハ及びノッチ付きウエハのいずれをもプリアライメントする。【構成】 コントローラによりウエハの回転中の切欠き検出センサ56の出力に基づいて切欠きの種類がフラットであるかノッチであるかが判別され、この判別結果に応じてフラット又はノッチがそれぞれ所定の位置に来るように、センターアップ54の回転制御がなされる。そして、ウエハが回転位置決めされた後、フラット付きウエハの場合は、位置決めハンマ72とピン66A、66B、66Cとによって位置決めされ、ノッチ付きウエハの場合は、位置決めハンマ73とピン66C、66Dとによって位置決めされる。
請求項（抜粋）：
レーザ光に対してステージを2次元方向に相対走査しつつ、前記ステージ上に載置される基板を加工する装置に用いられ、前記レーザ光を照射するのに先立って前記基板の位置決めを行なう基板の位置決め装置であって、前記基板の外周の一部に設けられた切欠きの位置を非接触で検出する検出手段と;前記切欠きを非接触で検出すると共に当該切欠きが直線状の切欠きかV字状の切欠きかを判別する判別手段と;前記基板を保持して前記ステージの移動面と平行な面内で回転させる回転機構と;前記検出手段の検出結果及び前記判別手段の判別結果に基づいて前記切欠きが該切欠きの種類に応じて定まる第1の所定位置又は第2の所定位置に位置決めされるように、前記回転機構を制御する制御手段と;前記切欠きが前記第1の所定位置へ位置決めされた前記基板をそのままの回転角度で第1位置へ位置決めする第1の位置決め手段と;前記切欠きが前記第2の所定位置へ位置決めされた前記基板をそのままの角度で第2位置へ位置決めする第2の位置決め手段とを有する基板の位置決め装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 17/24
, G05D 3/12
H01L 21/68 M
, B23Q 17/24 C
, G05D 3/12 H
