特許

J-GLOBAL ID：200903098740008930

単結晶原料供給装置及び単結晶原料供給方法

発明者： 高瀬 伸光
出願人/特許権者： 株式会社スーパーシリコン研究所
代理人 (1件)： 二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-080342
公開番号（公開出願番号）：特開平11-255588
出願日： 1998年03月12日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 溶解原料を補助ルツボからオーバフローさせて供給管を介して主ルツボに供給する場合に供給管の外周にヒータなどの加熱手段や断熱材などの保温手段を設けることなく溶解原料が供給管内で固化することを防止する。【解決手段】 石英の補助ルツボ1の中央には、補助ルツボ1内の溶融液をオーバフローにより主ルツボ11に供給するためのパイプ1aが形成されている。補助ルツボ1内の原料が溶解すると、フィーダ21から原料を補助ルツボ1内に連続して供給するのではなく、補助ルツボ1内の溶融液が間欠的にパイプ1aの上端の開口をオーバフローして主ルツボ11に供給される量の追加原料が供給される。

請求項（抜粋）：

単結晶の原料を補助ルツボ内で加熱して溶解し、この溶解原料を供給管を介して主ルツボに供給する単結晶原料供給装置において、前記補助ルツボ内の原料が溶解した後、この溶融液が間欠的に前記供給管の上端の開口をオーバフローする量の追加原料を間欠的に前記補助ルツボ内に供給する原料供給手段を有することを特徴とする単結晶原料供給装置。

IPC (2件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B