サーマルヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：峰隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-051272
公開番号（公開出願番号）：特開平6-218972
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：

【要約】【目的】基板上に少なくとも発熱抵抗体層と電極層と保護層とを順次積層形成したサーマルヘッドの耐熱性、密着性、耐腐食性、発熱性能、信頼性、生産性を向上させる。【構成】酸化物を含有する材料で発熱抵抗体層13を形成し、元素記号Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、Wで表される金属の少なくとも1つを主成分として窒素を含有する材料で電極層14を形成し、電極層14の耐熱性と発熱抵抗体層13に対する耐熱性と密着性と耐腐食性を共に良好にするサーマルヘッド。

請求項（抜粋）：

基板上に少なくとも発熱抵抗体層と電極層と保護層とを順次積層形成したサーマルヘッドにおいて、前記発熱抵抗体層を酸化物を含有する材料で形成し、前記電極層の少なくとも前記発熱抵抗体層に接合する部分を元素記号Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、Wで表される金属の少なくとも1つを主成分とし窒素を含有する材料で形成したことを特徴とするサーマルヘッド。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-192569
特開平2-158351
特開平1-204763

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