特許
J-GLOBAL ID:200903098744680498

表面清浄度の優れたFe-Ni系合金薄板およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大場 充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-209175
公開番号(公開出願番号):特開平9-031599
出願日: 1995年07月25日
公開日(公表日): 1997年02月04日
要約:
【要約】【目的】 表面粗さを保ったまま、エッチング性を改善することができるホウ素Bを含有するFe-Ni系合金薄板およびその製造方法を提案する。【構成】 表面から1ないし5nm深さにおけるホウ素の濃度を表面ホウ素濃度(Bsuf)とし、板厚の中心部分のホウ素濃度(Bmid)とするとき、表面ホウ素濃度と中心ホウ素濃度との比(Bsuf/Bmid)の最大値が500以下であって、素材全体として重量%でNi=30〜60%、Si≦1.5%、Mn≦1.5%、B=1〜100ppm、残部は実質的にFeよりなり、好ましくは、表面粗さがRaで0.2μm以上であるFe-Ni系合金薄板である。上記薄板は上記組成の素材を熱間圧延後、少なくとも1回以上の焼鈍と冷間圧延を施し製品厚さに仕上げた後、アルカリ溶液に接触させ表面のホウ素濃度を低減することにより得られる。
請求項(抜粋):
表面から1ないし5nm深さにおけるホウ素の濃度を表面ホウ素濃度(Bsuf)とし、板厚の中心部分のホウ素濃度(Bmid)とするとき、表面ホウ素濃度と中心ホウ素濃度との比(Bsuf/Bmid)の最大値が500以下であるFe-Ni系合金薄板であって、素材全体として重量%でNi=30〜60%、Si≦1.5%、Mn≦1.5%、B=1〜100ppm、残部は実質的にFeよりなることを特徴とする表面清浄度の優れたFe-Ni系合金薄板。
IPC (7件):
C22C 38/00 302 ,  C21D 8/02 ,  C21D 9/46 ,  C22C 38/08 ,  C22C 38/10 ,  H01J 9/14 ,  H01L 23/50
FI (7件):
C22C 38/00 302 R ,  C21D 8/02 D ,  C21D 9/46 N ,  C22C 38/08 ,  C22C 38/10 ,  H01J 9/14 G ,  H01L 23/50 V
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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