特許

J-GLOBAL ID：200903098748352231

薬液ノズル

発明者： 高野 径朗 ,  赤崎 恒雄
出願人/特許権者： シグマメルテック株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-356866
公開番号（公開出願番号）：特開平6-182283
出願日： 1992年12月21日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：

【要約】【目的】 基板全面に時間差なく薬液を塗布し,また,安定した温度の薬液を塗布するノズルを提供する。【構成】 被処理基板に対向する吐出面と該吐出面に多数配置された吐出口と薬液バッファと薬液導入口とからなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板を薬液で処理するノズルにおいて,被処理基板に対向する吐出面と該吐出面に多数配置された吐出口と薬液バッファと薬液導入口とからなることを特徴とする薬液ノズル。

IPC (4件)：

B05C 5/00 ,  B05C 5/00 101 ,  B05B 1/14 ,  H01L 21/027