特許
J-GLOBAL ID：200903098760697198
放電電極
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-223498
公開番号（公開出願番号）：特開2001-046908
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：
【要約】【課題】 空気清浄機等における気体のイオン化に用いる放電電極であって、印加電圧を低くでき、かつ効率を向上できる電極を提供する。【解決手段】 針状電極3と対向電極5とが向き合っている。針状電極3には、対向電極5と向き合う面上に、多数の針状突起が設けられている。針状突起はシリコン針状錘体であり、このシリコン針状錘体は、シリコン基板又はシリコン層中に形成された不純物析出領域をマイクロマスクとして、シリコン基板またはシリコン層を高選択比異方性エッチングすることにより、マイクロマスクを頂点として形成された錘型構造物である。針状突起により気体と電極の接触面積が増大するので効率を向上できる。また針先端の電界集中により、低電圧で放電が生じ、電源小型化などが可能になる。
請求項（抜粋）：
気体のイオン化に用いるのに適した放電電極であって、少なくとも一つの電極には、別の電極と対向する面上に多数の針状突起が設けられていることを特徴とする放電電極。
IPC (3件)：
B03C 3/41
, B03C 3/40
, B03C 3/60
B03C 3/41 A
, B03C 3/41 C
, B03C 3/40 C
, B03C 3/60
4D054AA11
, 4D054BA02
, 4D054BB06
, 4D054BB08
, 4D054BB12
, 4D054BB15
, 4D054EA01
