特許

J-GLOBAL ID：200903098765770713

光学装置、露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者： 海老沼 隆一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-208038
公開番号（公開出願番号）：特開2000-040651
出願日： 1998年07月23日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【課題】 露光装置の投影光学系など高精度な光学調整が必要な光学装置において、光学素子の移動を非常に高い精度で測定すること。【解決手段】 露光装置の投影光学系を構成する移動可能なレンズと、このレンズの移動を検出するための静電容量センサを備え、該静電容量センサを該光学素子の周囲に沿って環状に配する。静電容量センサは円環状の電極ならびに円環状のターゲットを有し、該ターゲットは光学素子と共に移動可能であり、該電極は固定部に設けている。

請求項（抜粋）：

移動可能な光学素子と、該光学素子の移動を検出するための静電容量センサを備え、該静電容量センサを該光学素子の周囲に沿って環状に配したことを特徴とする光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/04 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 516 A ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 7/04 E ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (5件)：

2H044BE18 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA13 ,  5F046DB03