特許

J-GLOBAL ID：200903098768205472

デルタアルミナ被覆鋼およびその製造方法

発明者： 吉田 政司
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-175743
公開番号（公開出願番号）：特開2000-008152
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造装置の配管、容器部材として、腐食性ガス、腐食性液体に対して安定で、かつ表面の凹凸の少ない表面皮膜が得られ、加工性に優れた材料を提供し、比較的安価な製造方法を提供する。【解決手段】 質量%でAl:1〜10%、Cr:5〜20%、Ni:8〜50%を含むオーステナイト系ステンレス鋼を酸化処理する際、酸化処理温度850〜1000°C、H<SB>2 </SB>O+H<SB>2 </SB>の雰囲気ガスで、H<SB>2 </SB>O:H<SB>2 </SB>濃度をモル比でH<SB>2 </SB>O/H<SB>2 </SB><5x10<SP>-4</SP>とし、厚さが150〜1200Åのデルタアルミナ皮膜を生成する。

請求項（抜粋）：

表面にデルタアルミナ皮膜を有することを特徴とするデルタアルミナ被覆鋼。

IPC (2件)：

C23C 8/18 ,  C22C 38/00 302

FI (2件)：

C23C 8/18 ,  C22C 38/00 302 Z