特許
J-GLOBAL ID:200903098768681568

移行型プラズマ発生方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 斎藤 侑 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-238066
公開番号(公開出願番号):特開平8-102397
出願日: 1994年09月30日
公開日(公表日): 1996年04月16日
要約:
【要約】【目的】構造の簡略化と保守点検の容易化を図るとともに、溶射粒子の滞留時間を制御できるようにする。【構成】陰極5と陽極を有する非移行型プラズマ発生トーチ1と、該トーチ内で発生したプラズマを外部に移行させる陽極13を有する外部陽極部2と、を備えた移行型プラズマ発生装置であって;前記トーチ1と外部陽極部2を互いの軸心を交差させながら相対的に回動せしめる回動変位手段4と、前記トーチと外部陽極部との間隔を調整する水平移動手段3とを設ける。
請求項(抜粋):
陰極と陽極を有する非移行型プラズマ発生トーチと、該トーチ内で発生したプラズマを外部に移行させる陽極を有する外部陽極部と、を備えた移行型プラズマ発生装置であって;前記トーチと外部陽極部を互いの軸心を交差させながら相対的に回動せしめる回動変位手段を備えていることを特徴とする移行型プラズマ発生装置。
IPC (2件):
H05H 1/44 ,  B01D 53/32

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