特許

J-GLOBAL ID：200903098771102218

感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品

発明者： 元部 丈晴 ,  川上 正洋 ,  宮 好宏 ,  萩原 秀雄
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019865
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221681
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 製造が容易で、粘度安定性及び像形成性に優れ、しかも環境に対して安全性の高いアルカリ性水溶液で現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物を提供するものである。【解決手段】 (a)下記一般式(1)で表されるポリイミド及び(b)光酸発生剤を含有してなる感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を用いて形成してなる被膜に、所定のパターンのマスクを介して光を照射した後、該被膜をアルカリ性水溶液を用いて現像することを特徴とするパターン製造法並びにこのパターン製造法により得られるパターンの層を有してなる電子部品。【化1】(式中、R1は4価の有機基であり、R2は2価の有機基であり、R1及びR2の少なくとも一方は、1つ以上の-OCH2CH=CH2の基を有する)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)【化1】(式中、R1は4価の有機基であり、R2は2価の有機基であり、R1及びR2の少なくとも一方は、1つ以上の-OCH2CH=CH2の基を有する)で表されるポリイミド及び(b)光酸発生剤を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 601 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/038 601 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (25件)：

2H025AA00 ,  2H025AA04 ,  2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025BC19 ,  2H025BC69 ,  2H025BC83 ,  2H025DA19 ,  2H025DA20 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096EA06 ,  2H096EA07 ,  2H096GA08