プラズマ用電極およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156532
公開番号（公開出願番号）：特開平7-009154
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：

【要約】【目的】製作が容易で、寿命が長いプラズマ用電極およびその製造方法を提供すること。【構成】円柱状の電極材の下面を平坦に、また上面を円錐状に形成し、電極ホルダには断面を電極材の径よりも僅かに小さく、頂部を電極材の頂角よりも僅かに小さい円錐状に形成するとともに端面から頂点までの距離が電極材の全長よりも短い穴を形成し、電極材を電極材の底面が電極ホルダの端面と同一面となるまで電極ホルダに圧入することにより電極材と電極ホルダとを一体に形成する。

請求項（抜粋）：

円柱状の電極材の下面を平坦に、また上面を円錐状に形成し、電極ホルダには断面を電極材の径よりも僅かに小さく、頂部を電極材の頂角よりも僅かに小さい円錐状に形成するとともに端面から頂点までの距離が電極材の全長よりも短い穴を形成し、電極材を電極材の底面が電極ホルダの端面と同一面となるまで電極ホルダに圧入することにより電極材と電極ホルダとを一体に形成することを特徴とするプラズマ用電極の製造方法。

IPC (2件)：

B23K 10/00 504 , H05H 1/34

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-260682
特開昭62-206191
特開昭63-260682

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