特許

J-GLOBAL ID：200903098781028628

半導体ウエハのセンタ合せ装置

発明者： 知念 林太郎 ,  森山 幸男
出願人/特許権者： 株式会社ダイヘン
代理人 (1件)： 中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177338
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343501
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 半導体ウエハを搬送するときにウエハのセンタおよび平坦部の位置角(オリフラ)を正確に合せる【構成】 半導体ウエハを載置し回転させるウエハ回転手段と、ウエハの端縁位置に関するデータを非接触で検出するエッジ位置検出器5と、エッジ位置検出器5の出力信号をウエハ回転角度に関連してデイジイタル信号に変換するA/D変換器24と、A/D変換器の出力を他の回路に直接転送するDMAデータ転送手段26と、DMAデータ転送手段によって転送されたウエハエッジ位置信号と回転角度信号とからウエハ偏心量と偏心角度とを演算する中央演算処理手段27と、中央演算処理手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せを行うウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。

請求項（抜粋）：

円形に整形された半導体ウエハを載置し回転させるウエハ回転手段と、前記ウエハの端縁位置に関するデータを非接触で検出するエッジ位置検出器と、前記エッジ位置検出器の出力信号をウエハ回転角度に関連してデイジイタル信号に変換するA/D変換器と、前記A/D変換器の出力を他の回路に直接転送するDMAデータ転送手段と、前記DMAデータ転送手段によって転送されたウエハエッジ位置信号と回転角度信号とから前記ウエハ偏心量と偏心角度とを演算する中央演算処理手段と、前記中央演算処理手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せを行うウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-169939
  
• 特開昭56-118139
  
• 特開昭58-161033