特許
J-GLOBAL ID：200903098798943400
走査型トンネル顕微鏡付き走査型電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
春日 讓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016772
公開番号（公開出願番号）：特開平5-209713
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡(STM)付き走査型電子顕微鏡(SEM)において、SEM画像に生じる探針の影の像を利用して、探針と試料との距離をSEM画像上で認識でき、当該距離を迅速に調整する。【構成】 電子線で試料表面を走査し、この試料表面から発生する二次電子に基づき試料表面の画像を作成するSEMと、試料表面に対しトンネル電流が流れるまで探針を接近させ、トンネル電流を一定に保つ条件の下で探針を移動して試料表面を走査し、探針の移動データに基づき試料表面の画像を作成するSTMを組み合わせてなる複合型の顕微鏡装置であり、SEMの対物レンズの近くにSTMが配置され、更に、SEMの二次電子検出器は、その二次電子取込み部が探針の中心線と試料表面との交点に向かい、電子線と探針の中心線とが形成する面に所定角度で交差し且つ探針の中心線を含む面に含まれるように配置される。好ましくは、所定角度は90度に設定される。
請求項（抜粋）：
電子線で試料表面を走査し、この試料表面から発生する二次電子に基づき前記試料表面の画像を作成する走査型電子顕微鏡と、前記試料表面に対しトンネル電流が流れるまで探針を接近させ、トンネル電流を一定に保つ条件の下で前記探針を移動して前記試料表面を走査し、前記探針の移動データに基づき前記試料表面の画像を作成する走査型トンネル顕微鏡とを組み合わせてなる複合型の顕微鏡装置であり、前記走査型電子顕微鏡の二次電子検出器は、その二次電子取込み部が前記探針の中心線と前記試料表面との交点に向かい、前記電子線と前記探針の中心線とが形成する面に所定角度で交差し且つ前記探針の中心線を含む面に含まれるように配置されることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡付き走査型電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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