特許
J-GLOBAL ID：200903098806765720
電子ビーム装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-063927
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264142
出願日： 1995年03月23日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で電子ビームの電流量(電流密度)を高速で変えることができる電子ビーム装置を実現する。【構成】 グリッド電極2の付近でクロスオーバー像が結像された電子ビームEBは、照明レンズ7によって絞り17の開口部分の手前に結像される。変調用レンズ電源31に所定の電子ビーム電流量に対応した信号を供給すると、レンズ電源31から変調用レンズ30には、その信号に応じた励磁電流が供給される。この結果、絞り17上で電子ビームはデフォーカスされた状態となり、拡大して絞り17上に照射される。従って、絞り17によって一部の電子は遮蔽され、絞り17の開口を通過する電子ビームの量は減少することになり、絞り17の開口を通過し、材料9に照射される電子ビームの量は、絞り17上の電子ビームのデフォーカス量によって任意に変えられる。
請求項（抜粋）：
電子銃からの電子ビームを絞りの開口部分に結像する第1のレンズ系と、絞りの開口像を材料上に結像するレンズ系と、絞りの上方に設けられ、絞りに照射される電子ビームを任意にデフォーカスさせ、絞りの開口を通過する電子ビームの量を変化させるための変調用レンズとを備えた電子ビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/04
, H01J 37/141
, H01J 37/30
H01J 37/04 A
, H01J 37/141 Z
, H01J 37/30 A
