特許

J-GLOBAL ID：200903098807521581

プロ-ブカ-ド

発明者： 溝口 康寛
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019260
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214183
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 チップの電極部にプローブ針を確実にしかもばらつきを生じさせることなく接触させることができるとともに、高周波信号のロスを減少させることができることにより、常に正確な検査データを得ることができ、かつ電極部の間隔が狭いチップにも対応できるプローブカードを実現する。【解決手段】 プローブカード1は、被検査体であるウエハのチップの被検査面上の電極部に接触させるプローブ針2と、このプローブ針2を保持する基板3とを備えてなり、プローブ針2が基板3に形成されてICテスターと接続する配線5に電気的に接続されているとともに基板面3aに対して略垂直に保持された垂直針式のものにおいて、上記プローブ針2は、その先端部2aが曲げられて基板面3aに略垂直な方向に対して傾斜した状態に形成されているとともに、配線5に直に接続された構成となっている。

請求項（抜粋）：

被検査体の被検査面上の電極部に接触させるプローブ針と、該プローブ針を保持する基板とを備えてなり、前記プローブ針が前記基板に形成されて外部テスターと接続する配線に電気的に接続されているとともに前記基板面に対して略垂直に保持された垂直針式のプローブカードにおいて、前記プローブ針は、その先端部が曲げられて前記基板面に略垂直な方向に対して傾斜した状態に形成されているとともに、前記配線に直に接続されてなることを特徴とするプローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B

Fターム (13件)：

2G011AA17 ,  2G011AB01 ,  2G011AC14 ,  2G011AC32 ,  2G011AE03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10 ,  4M106DD18