マイクロアクチュエータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-183351
公開番号（公開出願番号）：特開平6-038562
出願日： 1992年07月10日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】ウォブルモータの持つ低速高トルクという特徴を活かしながら、高精度な位置決めが可能で、長寿命且つ信頼性の高い静電駆動型のマイクロアクチュエータを提供する。【構成】円周状に配置した電極13a〜13pに順次静電気的に吸引されて公転及び自転するリング状の移動板12が、複数の螺旋状の梁11a〜11cにより基板上に弾性支持された構成である。

請求項（抜粋）：

基板上に円周状に配された複数の電極と、これらの電極の内側に位置するリング状の移動板と、前記移動板を弾性支持しかつ前記移動板の内側で前記基板上に固定端を有する梁と、前記電極に選択的に電圧を印加し前記移動板を前記電極に静電気的に吸引させ移動させる電圧印加手段とを備えたことを特徴とするマイクロアクチュエータ。

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