特許

J-GLOBAL ID：200903098810469310

XYステージ

発明者： 岡平 裕幸
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-182613
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019414
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、小型化を図ることができるとともに、機能的にも使い易いXYステージを提供する。【解決手段】上下方向に重ねて配置されるとともに、互いに直交する方向に移動可能にしたXステージ32とYステージ31を有し、このうちのXステージ32上に、該Yステージ31の移動方向に沿って直線移動可能なスライドステージ4を設け、このスライドステージ4上に検査対象である液晶ガラス基板5を載置している。

請求項（抜粋）：

上下方向に重ねて配置されるとともに、互いに直交する方向に移動可能にした上ステージと下ステージを有するXYステージにおいて、検査対象が載置されるとともに、前記上ステージ上にY方向に沿って直線移動可能に設けられた補助ステージを具備したことを特徴とするXYステージ。

IPC (2件)：

G02B 21/26 ,  G02F 1/13 101

FI (2件)：

G02B 21/26 ,  G02F 1/13 101

Fターム (6件)：

2H052AD16 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭59-009620