トロイダルミラー付きの反射分光光度装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-524633
公開番号（公開出願番号）：特表2001-526383
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
要約：

【要約】装置は、任意の数の薄膜を有するサンプル(16)を特徴付けるための反射分光光度法を使用する。この装置は、光学リレー内に2つのトロイダルミラー(33,34)を使用して、サンプル(16)によって反射された光を分光光度計(26)に向ける。次に、コンピュータがこの反射スペクトルを分析して、サンプル(16)の光学特性を特徴付ける。光学リレーは、サンプル(16)からの反射角に範囲を付けることができ、また色収差がない。色収差以外の収差を最小にするように、光学リレーを配置することもできる。サンプル(16)を移動可能なステージ(14)に設置して、サンプル(16)の種々の部位を特徴付けることができる。さらに、デフレクタ(24)およびビューアー(28)を使用して、この装置のオペレータは検討中のサンプル(16)の部位を観察することができる。

請求項（抜粋）：

サンプルの光学特性を特徴付けるための装置であって、 (a)広帯域の光ビームを発生する光源と、 (b)前記光源を前記サンプル上にイメージ形成するように配置された光学素子と、 (c)前記サンプルの測定部位によって反射された光を収集するように配置された第1のトロイダルミラーと、 (d)前記光を受け取り、前記測定部位を分光光度計の入射アパーチャ上にイメージ形成するように配置された第2のトロイダルミラーと、を備えることを特徴とする装置。

IPC (4件)：

G01N 21/45 , G01B 11/06 , G01J 3/45 , G01N 21/27

FI (4件)：

G01N 21/45 A , G01B 11/06 Z , G01J 3/45 , G01N 21/27 B

Fターム (53件)：

2F065AA30 , 2F065AA50 , 2F065CC02 , 2F065CC31 , 2F065EE08 , 2F065FF41 , 2F065FF51 , 2F065GG24 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065LL19 , 2F065LL30 , 2F065LL67 , 2F065PP01 , 2F065PP12 , 2F065QQ25 , 2G020AA03 , 2G020AA04 , 2G020AA05 , 2G020BA18 , 2G020CA03 , 2G020CA12 , 2G020CB03 , 2G020CB06 , 2G020CB42 , 2G020CB43 , 2G020CC23 , 2G020CC62 , 2G020CD03 , 2G020CD13 , 2G020CD16 , 2G020CD55 , 2G059AA02 , 2G059BB10 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059EE09 , 2G059EE12 , 2G059GG00 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059HH06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ17 , 2G059KK01 , 2G059MM05 , 2G059MM10 , 2G059PP04

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平2-096640

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