特許
J-GLOBAL ID:200903098819869389

縞位相分布解析方法および縞位相分布解析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 須山 佐一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-063098
公開番号(公開出願番号):特開平5-306916
出願日: 1991年03月27日
公開日(公表日): 1993年11月19日
要約:
【要約】【目的】 複数の撮像手段や複雑な光学系を必要とせず、かつ、高速に縞画像から位相情報を抽出し解析することができ、従来に較べてより広範囲な測定に適用することのできる縞画像の位相分布解析方法および位相分布解析装置を提供する。【構成】 位相シフト電子モアレ処理回路2において、撮像デバイス1および参照格子発生器3からの各画像信号は、レベルクランプ20、21、バイアスオフセット22等によって適当な前処理を施された後、広帯域の3 つの乗算器23、24、25によりそれぞれ掛け合わされ、適当なカットオフ周波数の低域通過フィルタ(LPF)26、27、28に入力され、3 つのモアレ画像として出力される。
請求項(抜粋):
撮像手段によって得られた縞画像信号に、所定角度ずつ位相シフトした少なくとも3 つの参照格子パターン信号をそれぞれ乗算し、これらの信号の低周波成分を抽出して少なくとも3 つのモアレ縞パターン信号を並列に生成し、これらのモアレ縞パターン信号から縞位相分布を求めることを特徴とする縞位相分布解析方法。
IPC (4件):
G01B 11/24 ,  G01J 9/02 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/45

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