特許
J-GLOBAL ID：200903098823389278
シートの引き伸し装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019264
公開番号（公開出願番号）：特開平9-190988
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 装置の小型化を図りつつ、適切なエキスパンド力を発生できるようにすること。【解決手段】 エキスパンドリング13とプレスリング14との相対移動にて、ウエハリング2に保持されたシート3を引き伸し、上記シート上に格子状に配置され貼付された各半導体ペレット5間に隙間を形成するシートの引き伸し装置17であって、上記エキスパンドリングとプレスリングとの相対移動をねじ15(15A〜15D)により行なうものである。
請求項（抜粋）：
エキスパンドリングとプレスリングとの相対移動にて、ウエハリングに保持されたシートを引き伸し、上記シート上に格子状に配置され貼付けられた各半導体ペレット間に間隙を形成するシートの引き伸し装置であって、上記エキスパンドリングとプレスリングとの相対移動をねじによって行なうことを特徴とするシートの引き伸し装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 W
, H01L 21/52 Z
