特許
J-GLOBAL ID:200903098825169720

レーザ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 曾我 道照 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-155404
公開番号(公開出願番号):特開2000-349381
出願日: 1999年06月02日
公開日(公表日): 2000年12月15日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、増幅器の交換時に光軸がずれた場合、増幅器に入射されるレーザ光の光軸の位置調整を低コストで行うことを目的とするものである。【解決手段】 増幅器10a〜10dに入射されるレーザ光の光軸の位置を測定する複数のレーザ光軸測定装置35を、増幅器10a〜10dの入口側に設け、光分配伝送系7に複数のビームスプリッタ3〜5と全反射ミラー6と入射手段36とを設け、ビームスプリッタ4,5及び全反射ミラー6について、入射されるレーザ光に対する角度を調整可能とし、かつ設計されたレーザ光入射方向に対して平行な方向への位置を調整可能とした。
請求項(抜粋):
架台、この架台上に設けられ、レーザ光を出射する発振器、上記架台上に設けられ、上記発振器から出射されたレーザ光を複数本のレーザ光に分配する光分配伝送系、上記架台上に設けられ、上記光分配伝送系から出射された複数本のレーザ光の出力をそれぞれ増幅する複数の増幅器、及びこれらの増幅器の入口側に設けられ、上記増幅器に入射されるレーザ光の光軸の位置を測定する複数のレーザ光軸測定装置を備え、上記光分配伝送系は、入射されたレーザ光の一部を反射して上記増幅器に入射させるとともに、残りのレーザ光を透過させる複数のビームスプリッタと、上記ビームスプリッタを透過したレーザ光を反射して上記増幅器に入射させる全反射ミラーと、上記発振器から出射されたレーザ光を反射して上記ビームスプリッタに入射させる入射手段とを有しており、上記ビームスプリッタ及び上記全反射ミラーの少なくとも一部は、入射されるレーザ光に対する角度が調整可能になっているとともに、設計されたレーザ光入射方向に対して平行な方向への位置が調整可能になっていることを特徴とするレーザ装置。
IPC (2件):
H01S 3/23 ,  H01S 3/10
FI (2件):
H01S 3/23 Z ,  H01S 3/10 Z
Fターム (13件):
5F072AA03 ,  5F072AC02 ,  5F072HH02 ,  5F072JJ08 ,  5F072KK05 ,  5F072KK15 ,  5F072MM08 ,  5F072PP10 ,  5F072RR01 ,  5F072RR05 ,  5F072SS06 ,  5F072YY01 ,  5F072YY06
引用特許:
審査官引用 (4件)
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