特許

J-GLOBAL ID：200903098827025890

微細路の成形方法及び微細路成形材

発明者： 鈴木 弘之 ,  安中 敏男 ,  青木 真
出願人/特許権者： 株式会社トキメック
代理人 (1件)： 竹内 進 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-291043
公開番号（公開出願番号）：特開平5-276924
出願日： 1991年11月07日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：

【要約】【目的】 気体や液体を流したり、共鳴路等に適用するミクロン単位の極めて狭い幅及び深さの微細路を成形することを目的とする。【構成】 少なくとも一方が透明な2枚の平板を平行に配置し、これらの平板の隙間に光硬化樹脂を充填し、フォトリソグラフィを用いて該光硬化樹脂を硬化させ、固化しない部分を洗浄することによって微細路を成形するようにした。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方が透明な2枚の平板を平行に配置し、これらの平板の隙間に光硬化樹脂を充填し、フォトリソグラフィを用いて該光硬化樹脂を硬化させ、固化しない部分を洗浄することによって微細路を成形する、ことを特徴とする微細路の成形方法。