特許
J-GLOBAL ID:200903098830244960
光変調測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
縣 浩介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-313486
公開番号(公開出願番号):特開平5-126719
出願日: 1991年10月31日
公開日(公表日): 1993年05月21日
要約:
【要約】【目的】 試料に交流変調された光を照射し、試料透過或は散乱光を検出し、変調位相のおくれから試料についての情報を得る測定装置において、照射光の平均強度と変調振幅を測光回路の能力一杯に設定することにより測定感度を上げる。【構成】 光源の交流変調を0にし、光源強度を0から次第に増加させつゝ試料からの光を測光し、測光出力が検出され始めたときと測光出力が飽和し始めたときの照射光の範囲で照射光強度を変化させるようにした。
請求項(抜粋):
強度変調した光を試料に照射し、試料からの透過或は散乱光を検出する測定装置において、光源の光強度の平均レベルと変調の振幅を可変とし、光強度を無変調で0から増加させながら、測光出力が得られる最小光強度レベルItと測光出力が飽和し始めるときの光強度レベルIsを検出し、光源の平均レベルを(It+Is)/2に、また変調振幅を(Is-It)/2より適宜小さく設定する自動設定手段を設けたことを特徴とする光変調測定装置。
IPC (2件):
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