特許
J-GLOBAL ID：200903098837283430
クリ-ンル-ム用搬送車
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143948
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343496
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】気流の乱れによる塵埃等の飛散を防ぐ必要のあるクリ-ンル-ム内の製品等の搬送に際し、搬送車や移動ロボットの移動による気流の乱れを抑える事にある。【構成】移動機構を有する移動台11と、移動台に固定されてその内部に被搬送物をストアする設置室から構成され、上記設置室と移動台の間は空気が流通するようになっており、移動台11若しくは設置室12にファン13が置かれる。そのファンにより空気が設置室の一部より吸い込まれ、フィルタ-を介することにより清浄度を高められ、設置室内の非搬送物上方から下方へ流れることにより非搬送物の清浄度を保ち、移動台の一部に設けられた空気排出口17より外部に放出される。搬送車進行方向に対して後方と側面方向の空気吸い込み口14や16より上記ファン13に送られる空気を外部から取り込む。【効果】クリ-ンル-ム内搬送車、移動ロボットの移動、作業により引き起こされる気流の乱れを抑え、清浄度の低下を抑える事。
請求項（抜粋）：
移動機構を有する移動台と、移動台に固定されてその内部に被搬送物をストアする設置室とを備え、前記設置室と前記移動台の間は空気が流通するようになっており、前記移動台乃至前記設置室にファンを設け、該ファンを含む流路にフィルタ-を付設し、この流路の両端を空気取り込み口と空気吹き出し口にしたクリ-ンル-ム用搬送車において、前記空気取り込み口は搬送車進行方向に対して後方と側面方向の一部或いは複数部に設けて前記設置室に送られる空気を外部から取り込むようにすることを特徴とするクリ-ンル-ム用搬送車。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 19/00
, B61B 13/00
