エアーナイフ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：栂村繁郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-199910
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035478
出願日： 1993年07月20日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】水滴のミストを確実に吸引して排出する。【構成】被乾燥物1に対して傾斜した状態で反搬送側に開口したエアーナイフ2を設置し、エアーナイフ2の搬送側及び反搬送側に吸気を行う排気ダクト3をエアーナイフ2と平行して設けたエアーナイフ装置。

請求項（抜粋）：

被乾燥物に対して傾斜した状態で反搬送側に開口したエアーナイフを設置し、エアーナイフの反搬送側に吸気を行う吸気ダクトをエアーナイフと平行して設けたことを特徴とするエアーナイフ装置。

IPC (4件)：

F26B 13/20 , F26B 13/30 , F26B 21/00 , H01L 21/304 361

引用特許：

審査官引用 (2件)

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