特許
J-GLOBAL ID：200903098851764998
高分子ラングミュア-ブロジェット膜及びその膜よりなるレジスト
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
津国 肇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132979
公開番号（公開出願番号）：特開2000-143831
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 均一で、ナノメータレベルで膜厚が制御可能であり、分子配向を制御した高秩序な高分子LB膜及び高感度、高解像度のポジ型レジストを提供する。【解決手段】 一般式(1):【化4】(式中、Rは、炭素原子数8〜18の直鎖状アルキル基、炭素原子数4〜5の分岐状アルキル基あるいは非置換又は炭素原子数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜6の分岐状アルキル基、ヒドロキシ基若しくはハロゲン原子から選ばれた置換基で置換されたフェニル基を表す)で表される繰り返し単位からなり、数平均分子量1,000〜100,000のポリN-置換メタクリルアミドを含む高分子LB膜及び該LB膜よりなるレジスト。
請求項（抜粋）：
一般式(1):【化1】(式中、Rは、炭素原子数8〜18の直鎖状アルキル基、炭素原子数4〜5の分岐状アルキル基あるいは非置換又は炭素原子数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜6の分岐状アルキル基、ヒドロキシ基若しくはハロゲン原子から選ばれた置換基で置換されたフェニル基を表す)で表される繰り返し単位からなり、数平均分子量1,000〜100,000のポリN-置換メタクリルアミドを含む高分子ラングミュア-ブロジェット膜。
IPC (6件)：
C08J 5/18 CER
, C08L 33/10
, G03F 7/039 501
, G03F 7/16
, H01L 21/312
, B05D 1/20
C08J 5/18 CER
, C08L 33/10
, G03F 7/039 501
, G03F 7/16
, H01L 21/312 D
, B05D 1/20
