特許
J-GLOBAL ID：200903098854789045
基板検出装置および基板搬入搬出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017911
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204617
出願日： 1998年01月13日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 簡易な構成でありながら基板を確実に検出することが可能であり、また、基板搬送カセットを遮蔽容器内に収納した場合においても基板を検出することが可能な基板検出装置および基板搬入搬出装置を提供することを目的とする。【解決手段】 基板検出装置5は、遮蔽容器4内に配置された基板搬送カセット1内の基板Wの収納状態を検出するためのものであり、複数の反射型センサ6a、6b、6cと、これらの反射型センサ6a、6b、6cを支持するセンサ支持板7と、このセンサ支持板7を基板搬送カセット1に対して昇降させるためのパンタグラフリンク形式の昇降機構8とを有する。
請求項（抜粋）：
複数枚の基板を収納可能な基板搬送カセット内の基板の収納状態を検出する基板検出装置であって、光を照射する投光部と前記投光部から照射され前記基板搬送カセット内に収納された基板により反射された光を受光する受光部とを各々有する複数の反射型センサと、前記複数の反射型センサを支持するセンサ支持手段と、前記センサ支持手段を前記基板搬送カセットに対して相対的に昇降させる昇降手段と、を備えたことを特徴とする基板検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, G01N 21/88 E
