特許

J-GLOBAL ID：200903098858179292

イオンビーム検出装置

発明者： 坂内 尚史
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 武石 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349595
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201836
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 メンテナンスが不必要であるとともに、目視に頼らずイオンビームの照射位置及び形状を正確に検出できるようにする。【構成】 イオンビームがイオンビーム検出部1に照射されると、イオンビームの照射位置から赤外線が発生し、この赤外線がレンズ2により集束され、赤外線センサ3に到達する。この赤外線の強度分布信号を画像処理部4で処理し、画像処理部4に対して適当な閾値を閾値設定部5により設定することで、イオンビームの照射位置及び形状を検出できる。

請求項（抜粋）：

イオンビーム検出部と、イオンビーム検出部からの赤外線を集束させるレンズと、前記レンズからの赤外線を検出するために2次元状に配置された赤外線センサと、前記赤外線センサから得られた赤外線強度信号を画像処理する手段とを備えたことを特徴とするイオンビーム検出装置。